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    mPT-SL-ZW系列 | 機械導向直驅楔形垂直運動平臺

    所屬類別:DDL定制直驅直線運動平臺

    產品名稱:mPT-SL-ZW系列 | 機械導向直驅楔形垂直運動平臺

    產品標簽:mPT-SL-ZW系列 | 機械導向直驅楔形垂直運動平臺

    更新時間:2020/8/9 17:30:42

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    ◼ 運動行程5-15mm
    ◼ 定位精度±50nm
    ◼ 重復定位精度±20nm
    ◼ 負載20kg
    ◼ 分辨率1nm
    ◼ 5,10,15三種規格

      mPT-SL-ZW系列產品結構緊湊,采用微泓自主研發的無鐵芯直線電機驅動的垂直精密運動平臺。其運動行程5-15mm,定位精度±50nm,重復定位精度±20nm,負載20kg,分辨率1nm。mPT-SL-ZW系列產品可實現納米級垂直運動的精密定位,為晶圓檢測以及精度要求高的計量應用、光學檢測和制造提供可靠的定位保證。
    Units ZW5 ZW10 ZW15
    運動行程/Travel mm 5 10 15
    分辨率/Resolution nm 1 1 1
    重復定位精度/Repeatabil μm ±0.02 ±0.02 ±0.02
    定位精度/Accuracy μm ±0.05 ±0.05 ±0.05
    平面度/Flatness of Travel μm ±0.5 ±1.0 ±1.0
    直線度/Straightness of Travel μm ±0.5 ±1.0 ±1.0
    俯仰,滾動,偏航誤差/Pitch, Roll and Yaw arc-sec ±5 ±7.5 ±7.5
    最大加速度/Max. Acceleration 9.8m/s2 0.7 0.7 0.7
    最大速度/Max. Speed mm/s 75 75 75
    平均速度波動/Average Speed Ripple % 0.1 0.1 0.1
    位置穩定性/Position Stability counts ±1 ±1 ±1
    最大負載/Max. Load Capacity kg 20 20 20
    注:產品技術規格中的性能參數僅供用戶參考,應以微泓的測試環境和控制器下的測試結果為準。

    產品大類 支承類型 驅動構型 行程大小 反饋信號類型 限位類型
    mPT SL ZW 5 LA NC
    10 LD NO
    解釋
    微米級定位產品 機械軸承 垂直楔形直驅結構 5mm 直線光柵,模擬量輸出 常閉觸點
    10mm 直線光柵,數字量輸出 常開觸點
    訂貨舉例:mPT-SL-ZW5-LA-NC
    我們將根據用戶的應用需求,提供控制器與驅動器的配置建議。

    服務熱線

    021-34721702

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