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    mPT-GL-ZD系列 | 氣浮導向直驅垂直運動平臺

    所屬類別:DDL定制直驅直線運動平臺

    產品名稱:mPT-GL-ZD系列 | 氣浮導向直驅垂直運動平臺

    產品標簽:mPT-GL-ZD系列 | 氣浮導向直驅垂直運動平臺

    更新時間:2020/8/9 17:32:05

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    ◼ 運動行程100-500mm
    ◼ 定位精度1μm
    ◼ 重復定位精度0.5μm
    ◼ 負載35kg
    ◼ 100,200,300,400和500五種規格

      mPT-GL-ZD系列產品是采用微泓自主研發的無鐵芯直線電機驅動的氣浮垂直運動平臺。其運動行程100- 500mm,定位精度±0.4μm,重復定位精度±0.1μm,負載35kg,分辨率10nm。mPT-GL-ZD定位平臺在垂直和水平表面布置空氣-空氣預載。氣浮模塊的大氣膜面設計保證氣浮導軌的剛度,提高了定位平臺的承載能力。氣膜分布的均化效應,減小定位平臺的俯仰,滾動和偏航誤差,以及直線度和平面度誤差。采用低摩擦氣缸平衡重力,使定位平臺上下運動平穩與順暢。完全非接觸式靜壓空氣軸承,非接觸式直線電機驅動和非接觸式反饋測量裝置確保微泓GL系列精密定位平臺在免維護操作情況下仍能保持高性能。運動部件之間沒有機械接觸,保證定位的高性能下的高穩定性。也適合在潔凈環境下工作。

    Units ZD100 ZD200 ZD300 ZD400 ZD500
    運動行程/Travel mm 100 200 300 400 500
    分辨率/Resolution nm 5 5 5 10 10
    重復定位精度/Repeatabil μm ±0.2 ±0.2 ±0.2 ±0.3 ±0.3
    定位精度/Accuracy μm ±0.4 ±0.4 ±0.4 ±0.5 ±0.5
    平面度/Flatness of Travel μm ±0.25 ±0.4 ±0.75 ±1.5 ±2
    直線度/Straightness of Travel μm ±0.25 ±0.4 ±0.75 ±1.5 ±2
    俯仰,滾動,偏航誤差/Pitch, Roll and Yaw arc-sec ±1 ±2 ±3 ±4 ±5
    最大加速度/Max. Acceleration 9.8m/s2 2 2 2 2 2
    最大速度/Max. Speed mm/s 2000 2000 2000 2000 2000
    位置穩定性/Position Stability counts 2 2 2 2 2
    最大負載/Max. Load Capacity kg 35 35 35 35 35
    注:產品技術規格中的性能參數僅供用戶參考,應以微泓的測試環境和控制器下的測試結果為準。

    產品大類 支承類型 驅動構型 行程大小 反饋信號類型 限位類型
    mPT GL ZD 200 LA NC
    300 LD NO
    解釋
    微米級定位產品 氣浮導向 直驅垂直運動 200mm 直線光柵,模擬量輸出 常閉觸點
    300mm 直線光柵,數字量輸出 常開觸點
    訂貨舉例:mPT-GL-ZD200-LA-NC
    我們將根據用戶的應用需求,提供控制器與驅動器的配置建議。

    服務熱線

    021-34721702

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