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    mPT-SL-S系列 | 機械導向直驅直線運動平臺

    所屬類別:DDL定制直驅直線運動平臺

    產品名稱:mPT-SL-S系列 | 機械導向直驅直線運動平臺

    產品標簽:mPT-SL-S系列 | 機械導向直驅直線運動平臺

    更新時間:2020/8/9 17:34:02

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    ◼ 運動行程100-450mm
    ◼ 定位精度±1μm
    ◼ 重復定位精度0.5μm
    ◼ 負載100kg
    ◼ 100,200,300和450四種規格


      mPT-SL-S系列產品結構緊湊,采用微泓自主研發的無鐵芯直線電機驅動的精密直線運動平臺。其運動行程100-450mm,定位精度±1μm,重復定位精度±0.5μm,負載100kg,分辨率0.1/0.05nm。mPT-SL-S定位平臺利用無鐵芯直線電機驅動和高性能機械滾動導軌支承,可以廣泛應用在激光加工、3D打印、半導體測試和電子制造等領域。

    Units S100 S200 S300 S450
    運動行程/Travel mm 100 200 300 450
    分辨率/Resolution μm 0.1/0.05 0.1/0.05 0.1/0.05 0.1/0.05
    重復定位精度/Repeatabil μm 0.5 0.5 0.5 0.5
    定位精度/Accuracy μm ±1 ±1 ±1 ±1
    平面度/Flatness of Travel μm/100mm ±5 ±5 ±5 ±5
    直線度/Straightness of Travel μm/100mm ±3 ±3 ±3 ±3
    俯仰,滾動,偏航誤差/Pitch, Roll and Yaw arc-sec ±6 ±8 ±10 ±14
    最大加速度/Max. Acceleration 9.8m/s2 2.5 2.5 2.5 2.5
    最大速度/Max. Speed mm/s 1200 1600 2000 2000
    位置穩定性/Position Stability kg 100 100 100 100
    平臺質量/Stage Weight kg 20.5 24.5 28 32
    注:產品技術規格中的性能參數僅供用戶參考,應以微泓的測試環境和控制器下的測試結果為準。

    產品大類 支承類型 驅動構型 行程大小 反饋信號類型 限位類型
    mPT SL S 100 LA NC
    200 LD NO
    解釋
    微米級定位產品 機械軸承 單電機驅動 100mm 直線光柵,模擬量輸出 常閉觸點
    200mm 直線光柵,數字量輸出 常開觸點
    訂貨舉例:mPT-SL-S100-LA-NC
    我們將根據用戶的應用需求,提供控制器與驅動器的配置建議。

    服務熱線

    021-34721702

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