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    mPT-GL-H系列 | H型兩維氣浮精密運動平臺

    所屬類別:DDL定制直驅直線運動平臺

    產品名稱:mPT-GL-H系列 | H型兩維氣浮精密運動平臺

    產品標簽:mPT-GL-H系列 | H型兩維氣浮精密運動平臺

    更新時間:2020/8/9 17:35:10

    上一個產品: mPT-SL-S系列 | 機械導向直驅直線運動平臺

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    ◼ 運動行程300-1000mm
    ◼ 定位精度1μm
    ◼ 重復定位精度0.5μm
    ◼ X-Y正交誤差1arc-sec
    ◼ 負載30-120kg
    ◼ 300,500,750,1000四種規格

      mPT-GL-H系列產品是采用微泓自主研發的無鐵芯直線電機驅動的H型二維精密直線運動平臺。其運動行程300x300mm、500x500mm、750x750mm、1000x1000mm,定位精度±0.5μm,重復定位精度±0.1μm,負載120kg,分辨率10nm。 mPT-GL-H系列定位平臺采用靜壓氣體軸承作為導向支承,氣浮模塊的大氣膜面設計保證氣浮導軌的剛度,提高定位平臺的承載能力。氣膜分布的均化效應,減小定位平臺的俯仰、滾動和偏航誤差,以及直線度和平面度誤差。同時采用在垂直和水平表面布置空氣-空氣預載方式,高性能氣浮墊和整體氣浮模塊兩種形式可供選擇。X軸采用雙氣浮模塊、雙直線電機驅動以及雙直線光柵反饋。其與單驅的Y軸構成H型龍門架機械構型,X、Y軸的共面設計,減小了定位平臺的耦合誤差。
    Units H300 H500 H750 H1000
    運動行程/Travel mm 300×300 500×500 750×750 1000×1000
    分辨率/Resolution nm 10 10 10 10
    重復定位精度/Repeatabil μm ±0.1 ±0.1 ±0.2 ±0.2
    定位精度/Accuracy μm ±0.5 ±0.75 ±0.85 ±1.0
    平面度/Flatness of Travel μm ±0.5 ±1.5 ±2 ±2.5
    直線度/Straightness of Travel μm ±0.5 ±1.5 ±2 ±2.5
    正交性/Orthogonality arc-sec 1 1 1 1
    俯仰,滾動,偏航誤差/Pitch, Roll and Yaw arc-sec ±2 ±3.5 ±4.5 ±5.5
    最大加速度/Max. Acceleration 9.8m/s2 1 1 1 1
    最大速度/Max. Speed mm/s 1000 1000 1000 1000
    平均速度波動/Average Speed Ripple % 10 10 10 10
    位置穩定性/Position Stability counts 2 2 2 2
    最大負載/Max. Load Capacity kg 30 30 120 120
    注:產品技術規格中的性能參數僅供用戶參考,應以微泓的測試環境和控制器下的測試結果為準。

    產品大類 支承類型 驅動構型 行程大小 反饋信號類型 限位類型
    mPT GL H 300 LA NC
    500 LD NO
    解釋
    微米級定位產品 氣浮導向 H型 300×300mm 直線光柵,模擬量輸出 常閉觸點
    500×500mm 直線光柵,數字量輸出 常開觸點
    訂貨舉例:mPT-GL-H300300-LA-NC
    我們將根據用戶的應用需求,提供控制器與驅動器的配置建議。

    服務熱線

    021-34721702

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