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    超精密直驅轉臺產品介紹
    超精密直驅轉臺產品介紹
      微泓®為用戶提供超精密直驅轉臺產品,包括直驅伺服電機(Direct-Drive)驅動的氣浮直驅轉臺和配套超精密伺服驅動器(mPT-MD-UP系列)。
       超精密直驅轉臺包括精密級(P系列)和超精密級(UP系列)。P系列超精密直驅轉臺采用自主研發的直驅無齒槽伺服電機。
       GR-P系列超精密直驅轉臺配套超精密伺服驅動器mPT-MD-UP系列驅動器,GR-UP系列超精密直驅轉臺配套專用驅動器mPT-MD-UP-ETO。運動控制器可選用微泓®的EtherCAT運動控制器,用戶也可自選EtherCAT總線控制器,給予客戶更多的配置空間。
      微泓®的超精密氣浮直驅轉臺可廣泛應用于精度測量,納米計量,高精度硅片檢測,液晶平板精密檢測,Nano-Xray繞射,光學元件檢測,超精密加工機床等領域。
    超精密直驅轉臺、驅動器與控制器配置構架
     

    超精密直驅轉臺與伺服驅動器匯總表
    氣浮型機械直驅轉臺產品一覽表
    超精密直驅轉臺產品通用技術規格

    服務熱線

    021-34721702

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